物理解析

わずかな挙動や微小な領域を測定、観察することで、物質の状態を明らかにします。

走査型電子顕微鏡（SEM、FE－SEM）

試料に電子ビームを走査し、発生した２次電子によって試料表面を高倍率で観察します。２次電子と同時に発生する特性X線を測定することで、元素の定性・半定量分析を行うこともできます。また、FE－SEMではEBSP（後方散乱電子回折像）によって結晶方位を測定することもできます。

　　　　　　　　　【走査電子顕微鏡　SEM]

　　　　　　【電解放出形走査電子顕微鏡　FE-SEM]

SEMと基本構造は同じですが、より分析に特化した電子顕微鏡です。特性X線を波長分散分析することで、元素を高感度（・高元素分解能）で測定することができます。また、元素の面的な分布状態を示す、線分析やマッピング分析を行うことも出来ます。

電子線を試料に照射し、試料を透過した電子線を電磁レンズで拡大することによって、透過電子像や電子線回折像を得ます。透過電子像では結晶粒界、欠陥、ひずみ、析出物の有無などが観察でき、電子線回折像からは結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができます。

結晶性粉末試料に特性X線を当て、回折X線を計測します。そうすることで物質中の結晶構造を調べることができます。具体的には、物質の同定に用います。

不活性ガス中あるいは真空中で試料を様々な速度で加熱・冷却し、試料の膨張･収縮を検出して、温度の関数として測定するものです。

固体試料を平面研磨し、エッチング（酸などによる腐食）を行うことで、組織の観察を行います。数倍～1000倍くらいの倍率で観察できます。デジタルマイクロスコープで広域観察を行えば、自席で好きな位置を拡大・観察できますので、手戻りなく調査を進めることが可能です。

［広域で撮影し、観察したい箇所を拡大して観察が可能です］